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精密硅制品 - 聚焦環
采用原材料尺寸較大的類單晶加工而成，最大直徑可以達到600mm，應用在芯片刻蝕機中，作為外電極或者Shround Ring使用。
技術優勢

原料自制品質可控，具有成熟的加工和清洗技術，可以滿足客戶不同的表面狀態需求。