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精密硅制品 - 4-6寸盒式硅舟
盒式硅舟又叫cassette boat，是一種小型一體式硅舟，主要應用在4寸到6寸臥式高溫爐，適用于1250℃以下制程。
技術優(yōu)勢

硅舟材質(zhì)為高純硅產(chǎn)料，不存在表面沉積層，長期使用不會出現(xiàn)變形及表面材料脫落問題；

可長期保證硅舟不會出現(xiàn)本體污染；